山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,碳氢清洗机,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
上喷淋同时, 下喷淋管路由底部两侧不断进水,而后由内槽上沿四周溢出,这样,自动通过式高压喷淋清洗机报价,每个晶圆片缝、各处边角的去离子水都能连续得到更新。 同时,纯净氮气由下喷淋管路进入槽体。 氮气鼓泡有以下几个作用:(1)增加了去离子水的冲刷力,对槽体本身有很好的自清洗作用;(2)晶圆在水流中颤动,气泡不能沾附其上,自动通过式高压喷淋清洗机厂家,提高了冲洗效果;(3)减少去离子水中的含氧量,避免在晶圆表面生成氧化物。
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由于加热器是置于槽体底部,所以,液位保护装置优为重要。 液位保护装置主要用于检测石英槽内是否有酸液,防止加热器在没有酸液的情况下工作而发生危险。 温度检测装置主要用于检测石英槽内酸液的温度, 将检测的温度信号反馈给温度器,由温控器实现温度控制。 对于废酸的排放,基本有两种不同方式。 可由底部气动阀门控制,或者由射流器稀释排放。上喷淋管路共有两路, 形成相互交叉喷淋,但去离子水不宜直接喷淋冲洗晶圆表面,因晶圆在水蚀作用下直接喷淋晶圆表面,易产生微粒污泥而污染晶圆表面,因此,在去离子水的喷淋过程中,需要对冲洗水压、水量、方向和角度作出调整测试,以达到微粒污染少的佳效果。 良好的喷嘴所喷淋范围涵盖全部晶圆及片盒; 而不良的喷淋冲洗形状,没有涵盖全部晶圆及片盒, 未被喷淋冲洗的死角地带,微粒、杂质及化学药液残留含量仍然很高,而达不到良好的清洗效果。
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传动系统是全自动清洗机区别手动清洗机核心的部分,由该系统在电气系统控制下实现了晶圆工艺清洗的自动化。 传动系统的性能直接决定了全自动清洗机整体工作效率及工作的稳定性、可靠性等方面。
传动系统由 x 向和 y 向组成,濮阳自动通过式高压喷淋清洗机,通过 PLC 程序控制,方便灵活地实现了 x 向和 y 向的运动。
x 向是由伺服电机、减速器、LM 直线导轨、齿轮齿条及连接块等部分组成的。 它由伺服电机驱动,通过减速器,齿轮齿条、连接块传动来实现机械臂连同机械手整体 x 向的运动;该方向运动用于将片盒准确地移至各个清洗工位定位处。 在 x 向装有一个原点近接开关,以检测确定机械臂在 x 向的起始位置点,左右两侧分别装有限位近接开关,以防止机械臂与本体相碰,发生危险。
姓名: | 吕经理 ( 销售经理 ) |
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